Стр. 10
| Стр.1 | Стр.2 | Стр.3 | Стр.4 | Стр.5 | Стр.6 | Стр.7 | Стр.8 | Стр.9 | Стр.10 | Стр.11 | Стр.12 | Стр.13 | Стр.14 | Стр.15 | Стр.16 | Стр.17 | Стр.18 | Стр.19 | Стр.20 | Стр.21 | Стр.22 | Стр.23 | Стр.24 | Стр.25 | Стр.26 | Стр.27 | Стр.28 | Стр.29 | Стр.30 | Стр.31 | Стр.32 | Стр.33 | Стр.34 | Стр.35 | Стр.36 | Стр.37 | Стр.38 | Стр.39 | Стр.40 | Стр.41 | Стр.42 | Стр.43 | Стр.44 | Стр.45 | Стр.46 | Стр.47 | Стр.48 | Стр.49 | Стр.50 | Стр.51 | Стр.52 | Стр.53 | Стр.54 | Стр.55 | Стр.56 | Стр.57 | Стр.58 | Стр.59 | Стр.60 | Стр.61 | Стр.62 | Стр.63 | Стр.64 | Стр.65 | Стр.66 | Стр.67 | Стр.68 | Стр.69 | Стр.70 | Стр.71 | Стр.72 | Стр.73 | Стр.74 | Стр.75 | Стр.76 | Стр.77 | Стр.78 | Стр.79 | Стр.80 | Стр.81 | Стр.82 | Стр.83 | Стр.84 | Стр.85 | Стр.86 | Стр.87 | Стр.88 | Стр.89 | Стр.90 |
реализации процесса и управления
процессом нанесения неорганического
покрытия, защитных слоев и
поверхностных модификаций, например
нижних слоев неэлектронными методами,
или процессами, представленными в
таблице и отмеченными в примечаниях
после пункта 2.5.3.4, а также
специально спроектированные средства
автоматизированного регулирования,
установки, манипуляции и компоненты
управления, включая:
2.2.5.1. Управляемое встроенной программой 841989950
производственное оборудование для
химического осаждения паров (CVD) со
всеми следующими показателями:
а) процесс модифицирован для одного из
следующих методов:
1) пульсирующего CVD;
2) управляемого термического
разложения с ядерным дроблением
(CNTD); или
3) усиленного плазмой или с помощью
плазмы CVD; и
б) включает какой-либо из следующих
способов:
1) использующий высокий вакуум
(равный или менее 0,01 Па) для
уплотнения вращением; или
2) использующий средства контроля
толщины слоя покрытия на месте;
2.2.5.2. Управляемое встроенной программой 854319000
производственное оборудование ионной
имплантации с силой тока луча 5 мА или
более;
2.2.5.3. Управляемое встроенной программой 854389900
производственное оборудование для
физического осаждения паров
электронным лучом (EB-PVD), имеющее
все следующие составляющие:
а) системы электропитания с расчетной
мощностью свыше 80 кВт;
б) лазерную систему управления уровнем
в заливочной ванне, которая точно
регулирует скорость подачи исходного
вещества; и
в) управляемый компьютером регистратор
скорости, работающий на принципе
фотолюминесценции ионизированных
атомов в потоке пара, необходимый для
нормирования скорости осаждения
покрытия, содержащего два или более
элемента;
2.2.5.4. Управляемое встроенной программой 841989300;
производственное оборудование 841989950
плазменного напыления, обладающее
любой из следующих характеристик:
а) работающее при уменьшающемся
давлении контролируемой атмосферы
(равной или менее 10 кПа, измеряемой
выше и внутри 300 мм выходного сечения
сопла плазменной горелки) в вакуумной
камере, способной обеспечивать
снижение давления до 0,01 Па,
предшествующее началу процесса
напыления; или
б) имеющее в своем составе средства
контроля толщины слоя покрытия;
2.2.5.5. Управляемое встроенной программой 841989300;
производственное оборудование 841989950
металлизации напылением, способное
обеспечить плотность тока 0,1 мА/кв.мм
или более, с производительностью
напыления 15 мкм/ч или более;
2.2.5.6. Управляемое встроенной программой 854389900
производственное оборудование
катодно-дугового напыления, включающее
систему электромагнитов для управления
плотностью тока дуги на катоде;
2.2.5.7. Управляемое встроенной программой 854389900
производственное оборудование ионной
металлизации, позволяющее осуществлять
на месте любое из следующих измерений:
а) толщины слоя подложки и величины
производительности; или
б) оптических характеристик
Примечание.
По пунктам 2.2.5.1, 2.2.5.2, 2.2.5.5,
2.2.5.6 и 2.2.5.7 не контролируется
оборудование химического парового
осаждения, катодно-дугового напыления,
капельного осаждения, ионной
металлизации или ионной имплантации,
специально разработанное для покрытия
режущего инструмента или для
механообработки
2.2.6. Системы или оборудование для измерения
или контроля размеров, такие, как:
2.2.6.1. Управляемые ЭВМ, с числовым 903180310
программным управлением, управляемые
встроенной программой машины контроля
размеров, имеющие погрешность
измерения длины по трем осям, равную
или менее (лучше) (1,7+L/1000) мкм (L
- длина, измеряемая в миллиметрах),
тестируемую в соответствии с
международным стандартом ИСО 10360-2;
2.2.6.2. Измерительные инструменты для линейных
или угловых перемещений, такие, как:
2.2.6.2.1. Измерительные инструменты для линейных 903149900;
перемещений, имеющие любую из 903180310;
следующих составляющих: 903180510;
903180590
а) измерительные системы
бесконтактного типа с разрешающей
способностью, равной или менее (лучше)
0,2 мкм, при диапазоне измерений до
0,2 мм;
б) системы с линейным регулируемым
дифференциальным преобразователем
напряжения с двумя следующими
характеристиками:
1) линейностью, равной или меньше
(лучше) 0,1%, в диапазоне измерений до
5 мм; и
2) отклонением, равным или меньшим
(лучшим) 0,1% в день, при стандартных
условиях с колебанием окружающей
температуры +-1 К; или
в) измерительные системы, имеющие все
следующие составляющие:
1) содержащие лазер; и
2) эксплуатируемые непрерывно по
крайней мере 12 часов при колебаниях
окружающей температуры +-1 К при
стандартных температуре и давлении,
имеющие все следующие характеристики:
разрешение на их полной шкале
составляет 0,1 мкм или меньше (лучше);
и погрешность измерения равна или
меньше (лучше) (0,2+L/2000) мкм (L -
длина, измеряемая в миллиметрах)
Примечание.
По пункту 2.2.6.2.1 не контролируются
измерительные интерферометрические
системы без обратной связи с замкнутым
или открытым контуром, содержащие
лазер для измерения погрешностей
перемещения подвижных частей станков,
средств контроля размеров или
подобного оборудования;
2.2.6.2.2. Угловые измерительные приборы с 903149900;
отклонением углового положения, равным 903180310;
или меньшим (лучшим) 0,00025° 903180510;
903180590
Примечание.
По пункту 2.2.6.2.2 не контролируются
оптические приборы, такие, как
автоколлиматоры, использующие
коллимированный свет для фиксации
углового смещения зеркала
2.2.6.3. Оборудование для измерения неровностей 903149900
поверхности с применением оптического
рассеяния как функции угла, с
чувствительностью 0,5 нм или меньше
(лучше)
Примечания:
1. Станки, которые могут быть
использованы в качестве средств
измерения, подлежат контролю, если их
параметры соответствуют или
превосходят критерии, установленные
для функций станков или измерительных
приборов
2. Системы, указанные в пункте 2.2.6,
подлежат контролю, если они по своим
параметрам превышают подлежащий
контролю уровень где-либо в их рабочем
диапазоне
2.2.7. Нижеперечисленные роботы и специально 847950000;
спроектированные контролеры и рабочие 853710100;
органы для них: 853710910;
853710990
а) способные в реальном масштабе
времени полно отображать процесс или
объект в трех измерениях с
генерированием или модификацией
программ или с генерированием или
модификацией цифровых программируемых
данных
Примечание.
Ограничения по указанному процессу или
объекту не включают аппроксимацию
третьего измерения через заданный угол
или интерпретацию через ограниченную
пределами шкалу для восприятия глубины
| Стр.1 | Стр.2 | Стр.3 | Стр.4 | Стр.5 | Стр.6 | Стр.7 | Стр.8 | Стр.9 | Стр.10 | Стр.11 | Стр.12 | Стр.13 | Стр.14 | Стр.15 | Стр.16 | Стр.17 | Стр.18 | Стр.19 | Стр.20 | Стр.21 | Стр.22 | Стр.23 | Стр.24 | Стр.25 | Стр.26 | Стр.27 | Стр.28 | Стр.29 | Стр.30 | Стр.31 | Стр.32 | Стр.33 | Стр.34 | Стр.35 | Стр.36 | Стр.37 | Стр.38 | Стр.39 | Стр.40 | Стр.41 | Стр.42 | Стр.43 | Стр.44 | Стр.45 | Стр.46 | Стр.47 | Стр.48 | Стр.49 | Стр.50 | Стр.51 | Стр.52 | Стр.53 | Стр.54 | Стр.55 | Стр.56 | Стр.57 | Стр.58 | Стр.59 | Стр.60 | Стр.61 | Стр.62 | Стр.63 | Стр.64 | Стр.65 | Стр.66 | Стр.67 | Стр.68 | Стр.69 | Стр.70 | Стр.71 | Стр.72 | Стр.73 | Стр.74 | Стр.75 | Стр.76 | Стр.77 | Стр.78 | Стр.79 | Стр.80 | Стр.81 | Стр.82 | Стр.83 | Стр.84 | Стр.85 | Стр.86 | Стр.87 | Стр.88 | Стр.89 | Стр.90 |
|
