Стр. 55
| Стр.1 | Стр.2 | Стр.3 | Стр.4 | Стр.5 | Стр.6 | Стр.7 | Стр.8 | Стр.9 | Стр.10 | Стр.11 | Стр.12 | Стр.13 | Стр.14 | Стр.15 | Стр.16 | Стр.17 | Стр.18 | Стр.19 | Стр.20 | Стр.21 | Стр.22 | Стр.23 | Стр.24 | Стр.25 | Стр.26 | Стр.27 | Стр.28 | Стр.29 | Стр.30 | Стр.31 | Стр.32 | Стр.33 | Стр.34 | Стр.35 | Стр.36 | Стр.37 | Стр.38 | Стр.39 | Стр.40 | Стр.41 | Стр.42 | Стр.43 | Стр.44 | Стр.45 | Стр.46 | Стр.47 | Стр.48 | Стр.49 | Стр.50 | Стр.51 | Стр.52 | Стр.53 | Стр.54 | Стр.55 | Стр.56 | Стр.57 | Стр.58 | Стр.59 | Стр.60 | Стр.61 | Стр.62 | Стр.63 | Стр.64 | Стр.65 | Стр.66 | Стр.67 | Стр.68 | Стр.69 | Стр.70 | Стр.71 | Стр.72 | Стр.73 | Стр.74 | Стр.75 | Стр.76 | Стр.77 | Стр.78 | Стр.79 | Стр.80 | Стр.81 | Стр.82 | Стр.83 | Стр.84 | Стр.85 | Стр.86 | Стр.87 | Стр.88 | Стр.89 | Стр.90 | Стр.91 | Стр.92 | Стр.93 | Стр.94 | Стр.95 | Стр.96 | Стр.97 | Стр.98 | Стр.99 | Стр.100 | Стр.101 | Стр.102 | Стр.103 | Стр.104 | Стр.105 | Стр.106 | Стр.107 | Стр.108 |
а) работающее при
уменьшающемся давлении
контролируемой атмосферы
(равной или менее 10 кПа,
измеряемой выше и внутри
300-миллиметрового выходного
сечения сопла плазменной
горелки) в вакуумной камере,
способной обеспечивать
снижение давления до 0,01 Па,
предшествующее началу процесса
напыления, или
б) имеющее в своем составе
средства контроля толщины слоя
покрытия
2.2.5.5. управляемое встроенной 845690000
программой производственное
оборудование металлизации
напылением, способное
обеспечить плотность тока 0,1
мА/кв.мм или более, с
производительностью напыления
15 мкм/ч или более
2.2.5.6. управляемое встроенной 851580900
программой производственное
оборудование катодно-дугового
напыления, включающее систему
электромагнитов для управления
плотностью тока дуги на катоде
2.2.5.7. управляемое встроенной 845610000
программой производственное
оборудование ионной
металлизации, позволяющее
осуществлять на месте любое из
следующих измерений:
а) толщины слоя подложки и
величины производительности
или
б) оптических характеристик
Примечание. По пунктам
2.2.5.1, 2.2.5.2, 2.2.5.5,
2.2.5.6 и 2.2.5.7 не
контролируется оборудование
химического парового
осаждения, катодно-дугового
напыления, капельного
осаждения, ионной металлизации
или ионной имплантации,
специально разработанное для
покрытия режущего инструмента
или для механообработки.
2.2.6. Системы или оборудование для
измерения или контроля
размеров, такие, как:
2.2.6.1. управляемые ЭВМ, с числовым 903180310
программным управлением,
управляемые встроенной
программой машины контроля
размеров, имеющие погрешность
измерения длины по трем осям,
равную или менее (лучше)
(1,7+L/1000) мкм (L - длина,
измеряемая в миллиметрах),
тестируемую в соответствии с
международным стандартом ИСО
10360-2;
2.2.6.2. измерительные инструменты для
линейных или угловых
перемещений, такие, как:
2.2.6.2.1. измерительные инструменты для 903140000
линейных перемещений, имеющие
любую из следующих
составляющих:
а) измерительные системы
бесконтактного типа с
разрешающей способностью,
равной или менее (лучше) 0,2
мкм, при диапазоне измерений
до 0,2 мм;
б) системы с линейным
регулируемым дифференциальным
преобразователем напряжения с
двумя следующими
характеристиками:
1) линейностью, равной или
меньше (лучше) 0,1%, в
диапазоне измерений до 5 мм и
2) отклонением, равным или
меньшим (лучшим) 0,1% в день,
при стандартных условиях с
колебанием окружающей
температуры +-1 К или
в) измерительные системы,
имеющие
все следующие составляющие:
1) содержащие лазер и
2) эксплуатируемые непрерывно
по крайней мере 12 ч при
колебаниях окружающей
температуры +-1 К при
стандартных температуре и
давлении, имеющие все
следующие характеристики:
разрешение на их полной шкале
составляет 0,1 мкм или меньше
(лучше) и погрешность
измерения равна или меньше
(лучше) (0,2+L/2000) мкм
(L - длина, измеряемая в
миллиметрах)
Примечание. По пункту
2.2.6.2.1 не контролируются
измерительные
интерферометрические системы
без обратной связи с замкнутым
или открытым контуром,
содержащие лазер для измерения
погрешностей перемещения
подвижных частей станков,
средств контроля размеров или
подобного оборудования.
2.2.6.2.2. угловые измерительные приборы 903140000;
с отклонением углового 903180310;
положения, равным или меньшим 903180910
(лучшим) 0,00025 град.
Примечание. По пункту
2.2.6.2.2 не контролируются
оптические приборы, такие, как
автоколлиматоры, использующие
коллимированный свет для
фиксации углового смещения
зеркала.
2.2.6.3. оборудование для измерения 903140000
неровностей поверхности с
применением оптического
рассеяния как функции угла, с
чувствительностью 0,5 нм или
меньше (лучше)
Примечания: 1. Станки, которые
могут быть использованы в
качестве средств измерения,
подлежат контролю, если их
параметры соответствуют или
превосходят критерии,
установленные для функций
станков или измерительных
приборов.
2. Системы, указанные в пункте
2.2.6, подлежат контролю, если
они по своим параметрам
превышают подлежащий контролю
уровень где-либо в их рабочем
диапазоне.
2.2.7. Нижеперечисленные роботы и 847989500;
специально спроектированные 853710100;
контроллеры и рабочие органы 853710910;
для них: 853710990
а) способные в реальном
масштабе времени полно
отображать процесс или объект
в трех измерениях с
генерированием или
модификацией программ или с
генерированием или
модификацией цифровых
программируемых данных
Примечание. Ограничения по
указанному процессу или
объекту не включают
аппроксимацию третьего
измерения через заданный угол
или интерпретацию через
ограниченную пределами шкалу
для восприятия глубины или
текстуры модификации заданий
(2 1/2 D).
б) специально разработанные в
соответствии с национальными
стандартами безопасности,
приспособленные к условиям
изготовления взрывного
военного снаряжения или
в) специально спроектированные
или оцениваемые как
радиационно стойкие,
выдерживающие больше 5 х 10E-3
Гр (кремний) [5 х 10E-5 рад
(кремний)] без операционной
деградации;
г) специально предназначенные
для операций на высотах,
превышающих 30000 м
2.2.8. Узлы, блоки и вставки,
специально разработанные для
станков или оборудования,
контролируемых по пункту 2.2.6
или 2.2.7, такие, как:
2.2.8.1. блоки оценки линейного 8466
положения с обратной связью
(например, приборы
индуктивного типа,
калиброванные шкалы,
инфракрасные системы или
лазерные системы), имеющие
полную точность меньше (лучше)
[800+(600 x L x 10E--3)] нм
(L - эффективная длина в
миллиметрах)
Примечание. Для лазерных
| Стр.1 | Стр.2 | Стр.3 | Стр.4 | Стр.5 | Стр.6 | Стр.7 | Стр.8 | Стр.9 | Стр.10 | Стр.11 | Стр.12 | Стр.13 | Стр.14 | Стр.15 | Стр.16 | Стр.17 | Стр.18 | Стр.19 | Стр.20 | Стр.21 | Стр.22 | Стр.23 | Стр.24 | Стр.25 | Стр.26 | Стр.27 | Стр.28 | Стр.29 | Стр.30 | Стр.31 | Стр.32 | Стр.33 | Стр.34 | Стр.35 | Стр.36 | Стр.37 | Стр.38 | Стр.39 | Стр.40 | Стр.41 | Стр.42 | Стр.43 | Стр.44 | Стр.45 | Стр.46 | Стр.47 | Стр.48 | Стр.49 | Стр.50 | Стр.51 | Стр.52 | Стр.53 | Стр.54 | Стр.55 | Стр.56 | Стр.57 | Стр.58 | Стр.59 | Стр.60 | Стр.61 | Стр.62 | Стр.63 | Стр.64 | Стр.65 | Стр.66 | Стр.67 | Стр.68 | Стр.69 | Стр.70 | Стр.71 | Стр.72 | Стр.73 | Стр.74 | Стр.75 | Стр.76 | Стр.77 | Стр.78 | Стр.79 | Стр.80 | Стр.81 | Стр.82 | Стр.83 | Стр.84 | Стр.85 | Стр.86 | Стр.87 | Стр.88 | Стр.89 | Стр.90 | Стр.91 | Стр.92 | Стр.93 | Стр.94 | Стр.95 | Стр.96 | Стр.97 | Стр.98 | Стр.99 | Стр.100 | Стр.101 | Стр.102 | Стр.103 | Стр.104 | Стр.105 | Стр.106 | Стр.107 | Стр.108 |
|